โคนลำแสงไอออน

SIKAIDA ไอออนบีมโคนเป็นส่วนประกอบหลักของระบบการฝังและส่งสัญญาณไอออนบีม ผลิตจากวัสดุเซรามิกขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงและผ่านกระบวนการฉีดขึ้นรูปที่มีความแม่นยำและการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง โดยมีปริมาณสิ่งเจือปนต่ำมาก ทนต่ออุณหภูมิสูง และความแม่นยำของมิติที่มั่นคง สามารถตัดเฉือนให้เป็นรูปทรงที่ซับซ้อนเพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดความคลาดเคลื่อนที่สูงมาก ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการฝังไอออนเซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูง

ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพในประเทศจีน SIKAIDA นำเสนอกรวยลำแสงไอออนที่เชื่อถือได้ คุ้มค่า และปรับแต่งได้ให้กับลูกค้าทั่วโลกในด้านเซมิคอนดักเตอร์ จอแบน ออพติก ระบบไมโครไฟฟ้าเครื่องกล (MEMS) และพลังงานแสงอาทิตย์ SIKAIDA เป็นซัพพลายเออร์ระยะยาวที่เชื่อถือได้และเป็นโรงงานผลิตเฉพาะสำหรับส่วนประกอบกระบวนการลำแสงไอออนคุณภาพสูง

วัสดุและการผลิต

1. วัสดุ

โคนลำแสงไอออนใช้วัสดุซึ่งรวมถึงอลูมินา (Al₂O₃) ที่มีความบริสุทธิ์ ≥99.9%, ซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄) ที่มีความบริสุทธิ์ ≥99.5%, เซอร์โคเนียมออกไซด์ (ZrO₂) ที่มีความบริสุทธิ์ ≥99.8% และซิลิกาหลอมรวม (99.999%) วัสดุทั้งหมดตรงตามมาตรฐานความบริสุทธิ์ที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และเหมาะสมกับข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของการใช้งานต่างๆ

2. กระบวนการผลิต

กระบวนการผลิตประกอบด้วยการฉีดขึ้นรูปที่มีความแม่นยำ การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง การตัดเฉือนด้วยความแม่นยำ CNC การขัดระดับกระจก และการทำความสะอาดและการทดสอบอัตโนมัติ แต่ละกระบวนการได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวดเพื่อความแม่นยำและคุณภาพเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมและความต้องการของลูกค้า

พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์ที่สำคัญ

1. ความแม่นยำของมิติ

กรวยลำแสงไอออนมีค่าความคลาดเคลื่อนที่ควบคุมได้ภายใน ±0.05 มม., ความหยาบผิว Ra≤0.4μm, ความแม่นยำของเทเปอร์รูภายใน ±0.02 มม., โคแอกเซียล ≤0.03มม. และตั้งฉาก ≤0.02มม. ความแม่นยำของมิติที่สูงมากนี้ช่วยให้มั่นใจในความแม่นยำของการส่งผ่านลำแสงไอออนได้อย่างมีประสิทธิภาพ

2. การรักษาพื้นผิว

การรักษาพื้นผิวประกอบด้วยการขัดเชิงกลสำหรับผิวเคลือบกระจก การเคลือบด้วยรังสี UV เพื่อเพิ่มคุณสมบัติของพื้นผิว การเคลือบป้องกันรอยขีดข่วนเพื่อปรับปรุงความต้านทานการสึกหรอ และการดองด้วยกรดและฟิล์มทู่เพื่อขจัดสิ่งเจือปนและปรับปรุงความเสถียร สามารถเลือกวิธีการรักษาที่เหมาะสมได้ตามความต้องการใช้งาน

3. ตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพ

โคนลำแสงไอออนทำงานภายในช่วงอุณหภูมิ -196°C ถึง +800°C จึงรับประกันการทำงานที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสุดขั้ว มีความต้านทานปริมาตร ≥10¹⁴Ω·cm และความต้านทานพื้นผิว ≥10¹²Ω ซึ่งแสดงคุณสมบัติของฉนวนที่ดีเยี่ยม นอกจากนี้ยังมีความต้านทานต่อการกัดกร่อนของพลาสมาและสารเคมีได้ดีเยี่ยม ทำให้สามารถปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ซับซ้อนได้

ข้อดีหลัก

1. ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ: ความบริสุทธิ์ของวัตถุดิบเกิน 99.9% ลดการปนเปื้อนของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ทำให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพทางไฟฟ้าที่เสถียรของอุปกรณ์ และตอบสนองข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

2. ความแม่นยำทางเรขาคณิตที่สูงมาก: รับประกันขนาดของผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกันระหว่างการผลิตจำนวนมาก โดยมีการควบคุมข้อผิดพลาดของเทเปอร์ภายใน ±0.05 มม. และข้อผิดพลาดความกลม ≤0.02 มม. ซึ่งตรงกับข้อกำหนดในการติดตั้งและการใช้งานของระบบส่งผ่านลำแสงไอออนอย่างแม่นยำ

3. คุณภาพพื้นผิวเหมือนกระจก: ความหยาบของพื้นผิวRa≤0.4μm ลดการกระเจิงของลำแสงไอออนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ปรับปรุงความสม่ำเสมอของการส่งผ่านลำแสงไอออน และเพิ่มประสิทธิภาพความแม่นยำในการฝังอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

4. ความเสถียรในช่วงอุณหภูมิที่กว้าง: ทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิต่ำถึงอุณหภูมิที่สูง วัสดุมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำมาก โดยคงความเสถียรของขนาดที่ดีเยี่ยมแม้อุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลง ป้องกันผลกระทบด้านประสิทธิภาพจากความผันผวนของอุณหภูมิ

5. ความเป็นฉนวนและความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม: ป้องกันการสะสมประจุในระหว่างการส่งลำแสงไอออนอย่างมีประสิทธิภาพ และทนทานต่อกรดแก่ ด่างแก่ และการกัดกร่อนในพลาสมาต่างๆ ทำให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่มั่นคงในระยะยาวในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ซับซ้อน

บริการที่กำหนดเอง

รุ่นและขนาดของผลิตภัณฑ์สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของกระบวนการที่แตกต่างกัน รูปแบบการวาดที่รองรับ ได้แก่ STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF และตัวอย่างทางกายภาพ เกี่ยวกับเวลาในการจัดส่ง การจัดส่งตัวอย่างคือ 4-7 สัปดาห์ และการส่งมอบผลิตภัณฑ์เป็นชุดคือ 8-12 สัปดาห์ ระบบคุณภาพของเราสอดคล้องกับมาตรฐาน ISO9001:2015, SGS RoHS, REACH และ SEMI เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพของผลิตภัณฑ์และประสิทธิภาพการจัดส่งอย่างครอบคลุม

พื้นที่ใช้งาน

โคนลำแสงไอออนถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในหลายสาขา รวมถึงเครื่องฝังไอออนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์การประมวลผลในจอแบน ระบบการตกสะสมของลำแสงไอออน (IBD) และระบบการแกะสลักลำแสงไอออน (IBE) ในการผลิตอุปกรณ์เกี่ยวกับแสง การผลิตระบบเครื่องกลไฟฟ้าขนาดเล็ก (MEMS) อุปกรณ์เติมไอออนสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์ และกระบวนการปลูกถ่ายไอออนสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์กำลัง เช่น ทรานซิสเตอร์สองขั้วเกตที่หุ้มฉนวน (IGBT) และ MOSFET กำลัง

คำถามที่พบบ่อย:

คำถามที่ 1: โดยทั่วไปจะใช้วัสดุอะไรบ้างในไอออนบีมโคน

A1: เราใช้วัสดุเซรามิกขั้นสูงเป็นหลัก เช่น อลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (Al₂O₃), ซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄) และเซอร์โคเนียมออกไซด์ (ZrO₂) วัสดุเหล่านี้มีความบริสุทธิ์สูงมาก ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม และมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่เสถียร

คำถามที่ 2: UET สามารถจัดเตรียมข้อกำหนดเฉพาะและการปรับสภาพพื้นผิวได้หรือไม่ 

ก2: ใช่. UET สามารถปรับแต่งขนาด ความเรียว ประเภทวัสดุ และการรักษาพื้นผิวของกรวยได้ตามความต้องการในกระบวนการของคุณ เรามีประสบการณ์ในการผลิตที่กว้างขวางและสามารถตอบสนองความต้องการการใช้งานเฉพาะของลูกค้าได้

คำถามที่ 3: รับประกันความแม่นยำและคุณภาพของ Ion Beam Cones อย่างไร

A3: เราใช้ระบบการจัดการคุณภาพ ISO9001:2015 และติดตั้งอุปกรณ์ทดสอบที่มีความแม่นยำสูง รวมถึงเครื่องวัดพิกัด เครื่องทดสอบความหยาบของพื้นผิว และสเปกโตรมิเตอร์เอ็กซ์เรย์ฟลูออเรสเซนซ์ เพื่อให้มั่นใจว่าผลิตภัณฑ์ทุกชุดตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เข้มงวด

Q4: รอบการจัดส่งคืออะไร?

A4: รอบการจัดส่งตัวอย่างคือ 4-7 สัปดาห์ และรอบการจัดส่งผลิตภัณฑ์เป็นชุดคือ 8-12 สัปดาห์ วงจรเฉพาะขึ้นอยู่กับความซับซ้อนของผลิตภัณฑ์และปริมาณการสั่งซื้อ